Vật liệu bán dẫn là vật liệu cơ bản của thiết bị vi điện tử và thiết bị quang điện. Đặc tính tạp chất và khuyết tật của chúng ảnh hưởng nghiêm trọng đến hiệu suất thiết bị. Với sự gia tăng tích hợp các thiết bị vi điện tử và hiệu suất chuyển đổi của các thiết bị quang điện, các yêu cầu đối với nguyên liệu bán dẫn ngày càng tăng. Để đáp ứng nhu cầu sản xuất công nghiệp, phương pháp phát hiện vật liệu được yêu cầu phải có độ nhạy cao hơn và tốc độ đo nhanh hơn, đồng thời tránh làm hỏng vật liệu. Các chất mang là các chất mang chức năng của vật liệu bán dẫn và đặc tính vận chuyển của chúng quyết định hiệu suất của các thiết bị quang điện tử khác nhau, bao gồm tuổi thọ của chất mang, hệ số khuếch tán và tốc độ tái hợp bề mặt. Công nghệ bức xạ sóng mang là một phương pháp thử nghiệm không phá hủy toàn quang để đo đồng thời các thông số vận chuyển sóng mang, nhưng phương pháp này vẫn có một số hạn chế trong việc đo lường và mô tả các thông số vận chuyển sóng mang, như mô hình lý thuyết Khả năng áp dụng, độ chính xác của phép đo và tốc độ của các tham số.
Với sự hỗ trợ của Quỹ khoa học tự nhiên quốc gia Trung Quốc, Viện công nghệ quang điện tử của Viện khoa học Trung Quốc đã nhắm đến các vấn đề trên và thiết lập một mô hình bức xạ quang phi tuyến với vật liệu silicon bán dẫn truyền thống làm đối tượng nghiên cứu, và trên cơ sở này, tương ứng đề xuất ánh sáng đa điểm Công nghệ bức xạ sóng mang và công nghệ hình ảnh bức xạ quang ổn định đã xác nhận tính hiệu quả của công nghệ trên thông qua các tính toán mô phỏng và đo đạc thực nghiệm. Công nghệ bức xạ sóng mang đa điểm có thể loại bỏ hoàn toàn ảnh hưởng của đáp ứng tần số của hệ thống đo đến kết quả đo và cải thiện độ chính xác của các thông số vận chuyển sóng mang. Silic đơn tinh thể loại P có điện trở suất 0. 1 - 0. {{6}}? Cm là Ví dụ, công nghệ bức xạ sóng mang đa điểm được đề xuất giúp giảm độ không đảm bảo đo của tuổi thọ sóng mang, hệ số khuếch tán và tốc độ tái hợp bề mặt từ truyền thống ± 15. 9%, ± {{{{17 }}}} 9. 1% và 00 1 00 1 0 gt; ± 50% đến ± 1 0. 7%, ± {{1 6}}. 6% và ± 35. { {19}}%. Ngoài ra, công nghệ hình ảnh bức xạ quang trạng thái ổn định đơn giản hóa mô hình lý thuyết và thiết bị đo lường, tốc độ đo được cải thiện đáng kể và có tiềm năng ứng dụng công nghiệp lớn hơn.




